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日本HORIBA緊湊型質(zhì)量流量計D700T控制器 日本HORIBA緊湊型質(zhì)量流量計控制器 D700T是專為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計的性能最佳的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊。D700T采用HORIBACRITERION基于壓力的流量測量和控制技術(shù)，提供業(yè)界的可重復(fù)和準(zhǔn)確的性能。此外，D700T的之處在于采用雙閥結(jié)構(gòu)的高級流量控制算法，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多個挑戰(zhàn)。

HORIBA寬范圍壓敏質(zhì)量流量計日本D700WR制造 HORIBA寬范圍壓敏質(zhì)量流量計日本制造 D700uF（微流）專為≤5SCCM 流量應(yīng)用而設(shè)計。≤5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中非常關(guān)鍵。 專用組件和新開發(fā)的內(nèi)部低流量標(biāo)準(zhǔn)可實現(xiàn)低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。